Инд. авторы:	Григорьев Ю.Н., Горобчук А.Г.
Заглавие:	Развитие модели плазмохимического травления на основе численного моделирования ВЧ-разряда
Библ. ссылка:	Григорьев Ю.Н., Горобчук А.Г. Развитие модели плазмохимического травления на основе численного моделирования ВЧ-разряда // Материалы Всеросс. конф. с международным участием «Математическое и физическое моделирование опасных природных явлений и техногенных катастроф». Томск: Из-во Томского университета, 2010, 2010. - С.45-46.
Издано:	Томск: Из-во Томского университета, 2010
Физ. характеристика:	с.45-46