| Инд. авторы: | Гусельников А.В., Сафронов А.В., Куреня А.Г., Архипов В.Е., Болгарин С.Г., Иванов А.Е., Квашнин А.Г., Окотруб А.В. |
| Заглавие: | Автоматизация CVD-реактора для синтеза массивов вертикально ориентированных углеродных нанотрубок |
| Библ. ссылка: | Гусельников А.В., Сафронов А.В., Куреня А.Г., Архипов В.Е., Болгарин С.Г., Иванов А.Е., Квашнин А.Г., Окотруб А.В. Автоматизация CVD-реактора для синтеза массивов вертикально ориентированных углеродных нанотрубок // Приборы и техника эксперимента. - 2018. - № 4. - С.20-24. - ISSN 0032-8162. |
| Внешние системы: | DOI: 10.1134/S0032816218040225; РИНЦ: 35393408; |
| Реферат: | rus: Описаны функциональная электрическая схема и система автоматизации CVD-реактора для синтеза массивов вертикально ориентированных углеродных нанотрубок (в.о.у.н.т.) на кремниевых подложках. Основным назначением системы является регистрация физических параметров CVD-реактора в реальном времени, генерация предписаний к действиям оператора по выбранному технологическому маршруту синтеза, отображение выбранных им параметров на экране и организация автоматической защиты узлов и агрегатов установки от внештатных событий или действий оператора, не предусмотренных условиями ее эксплуатации. Показана структура системы сбора данных, визуализации параметров синтеза и управления процессом CVD, обеспечивающей синтез массивов в.о.у.н.т.
|
| Издано: | 2018 |
| Физ. характеристика: | с.20-24 |
| Цитирование: | 1. Гусельников А.В., Сафронов А.В., Куреня А.Г., Архипов В.Е., Болгарин С.Г., Иванов А.Е., Квашнин А.Г., Окотруб А.В. // ПТЭ. 2018. № 4. С. 140. doi 10.7868/ S0032816218040213
2. Николаев А.А. // Автоматизация и производство. 2014. № 1. С. 4.
3. Гагарин А.Ю., Романов Д.А., Жмакин Ю.Д., Модзелевский Д.Е., Будовских Е.А., Громов В.Е. // Промышленная энергетика. 2014. № 1. С. 38.
4. Шибеко Р.В., Ульянов А.В. // Молодой ученый. 2016. № 11 (115). С. 535.
5. Болгарин С.Г., Гусельников А.Г., Иванов А.Е., Квашнин А.Г., Куреня А.Г., Окотруб А.В., Сафронов А.В. Государственная регистрация программы для ЭВМ № 2017612932. Опубл. 06.03.2017.
6. Болгарин С.Г., Гусельников А.Г., Иванов А.Е., Квашнин А.Г., Куреня А.Г., Окотруб А.В., Сафронов А.В. Государственная регистрация программы для ЭВМ № 2017612864. Опубл. 03.03.2017.
|