Инд. авторы:	Горобчук А.Г.
Заглавие:	Математическое моделирование плазмохимических процессов в микроэлектронике
Библ. ссылка:	Горобчук А.Г. Математическое моделирование плазмохимических процессов в микроэлектронике // Тезисы докладов XIII Международной конференции, посвященной 100-летию со дня рождения академика М. Ф. Жукова: Новосибирск, 5-7 сентября 2017. - 2017. - Новосибирск. - С.53.
Издано:	2017
Физ. характеристика:	с.53
Конференция:	Название: XIII Международная конференция, посвященная 100-летию со дня рождения академика М. Ф. Жукова Город: Новосибирск Страна: Россия Даты проведения: 2017-09-05 - 2017-09-07