| Инд. авторы: | Горобчук А.Г. |
| Заглавие: | Математическое моделирование плазмохимических технологий микроэлектроники |
| Библ. ссылка: | Горобчук А.Г. Математическое моделирование плазмохимических технологий микроэлектроники: диссертация на соискание ученой степени доктора физико-математических наук: 05.13.18 / [Место защиты: Ин-т вычисл. технологий СО РАН, дата защиты: 17 февраля 2017 г.]. - 2016. - Новосибирск: ИВТ СО РАН. - http://www.ict.nsc.ru/sites/default/files/discouncil/Enlist/Gorobchuk_AG_2016/dissertation_gorobchuk_ag.pdf |
| Издано: | Новосибирск: ИВТ СО РАН, 2016 |
| Ссылка: | http://www.ict.nsc.ru/sites/default/files/discouncil/Enlist/Gorobchuk_AG_2016/dissertation_gorobchuk_ag.pdf |