| Инд. авторы: | Grigoryev Yu.N., Gorobchuk A.G. |
| Заглавие: | Numerical modeling of plasma-chemical etching technology in CF4/H2 gas mixture |
| Библ. ссылка: | Grigoryev Yu.N., Gorobchuk A.G. Numerical modeling of plasma-chemical etching technology in CF4/H2 gas mixture // Abstracts of 17th International conference on the methods of aerophysical research. (June 30 – July 6, 2014, Novosibirsk, Russia): Part I. - 2014. - Novosibirsk: Avtograf. - P.93-94. - ISBN: 978-5-9905592-0-2. |
| Издано: | 2014 |
| Физ. характеристика: | с.93-94 |
| Конференция: | Название: 17th International Conference on the Methods of Aerophysical Research Аббревиатура: ICMAR 2014 Город: Novosibirsk Страна: Russia Даты проведения: 2014-06-30 - 2014-07-06 Ссылка: http://conf.nsc.ru/icmar2014 |