Инд. авторы:	Gorobchuk A.G.
Заглавие:	Numerical model of plasma-chemical etching technology
Библ. ссылка:	Gorobchuk A.G. Numerical model of plasma-chemical etching technology // Международная конференция «Актуальные проблемы вычислительной и прикладной математики - 2015», посвященная 90-летию со дня рождения академика Гурия Ивановича Марчука (Новосибирск, 19-23 октября 2015 г.): Тезисы / ИВМиМГ СО РАН. - 2015. - Новосибирск: Академиздат. - С.128-129. - ISBN: 978-5-9907241-5-0.
Издано:	2015
Физ. характеристика:	с.128-129
Конференция:	Название: Международная конференция «Актуальные проблемы вычислительной и прикладной математики 2015», посвященная 90-летию со дня рождения академика Гурия Ивановича Марчука Аббревиатура: AMCA-2015 Город: Новосибирск Страна: Россия Даты проведения: 2015-10-19 - 2015-10-23 Ссылка: http://conf.ict.nsc.ru/amca15/general_info