Инд. авторы:	Григорьев Ю.Н., Горобчук А.Г.
Заглавие:	Моделирование плазмохимической технологии травления кремния в смеси CF4/H2
Библ. ссылка:	Григорьев Ю.Н., Горобчук А.Г. Моделирование плазмохимической технологии травления кремния в смеси CF4/H2 // Проблемы разработки перспективных микро- и наноэлектронных систем-2014 (МЭС-2014). Сборник трудов под общ. ред. академика РАН А.Л. Стемпковского. - 2014. - М.: ИППМ РАН. - С.137-140. - ISBN: 978-5-903559-47-3.
Издано:	2014
Физ. характеристика:	с.137-140