Инд. авторы: | Grigoryev Yu.N., Gorobchuk A.G. |
Заглавие: | Nonisothermality effects in a plasmochemical reactor |
Библ. ссылка: | Grigoryev Yu.N., Gorobchuk A.G. Nonisothermality effects in a plasmochemical reactor // Russian Microelectronics. - 1998. - Vol.27. - Iss. 4. - P.250-258. - ISSN 1063-7397. - EISSN 1608-3415. |
Внешние системы: | РИНЦ: 13277988; |
Издано: | 1998 |
Физ. характеристика: | с.250-258 |