| Инд. авторы: | Горобчук А.Г. |
| Заглавие: | Об одной численной схеме экспоненциальной подгонки для решения уравнений высокочастотного разряда в гидродинамическом приближении |
| Библ. ссылка: | Горобчук А.Г. Об одной численной схеме экспоненциальной подгонки для решения уравнений высокочастотного разряда в гидродинамическом приближении // Вестник Томского государственного университета. Математика и механика. - 2014. - № 3. - С.65-74. - ISSN 1998-8621. - EISSN 2311-2255. |
| Внешние системы: | РИНЦ: 21615003; |
| Реферат: | eng: The numerical modeling of the RF discharge in the hydrodynamic approximation is widely used in studying processes of plasma-chemical etching of semiconductor materials. The integration of RF discharge equations with a small parameter at the high-order derivative is a difficult problem connected with the formation of boundary layers with big gradients of required values. In addition, the equations are described by a high nonlinearity and strong interrelation, which needs using special highly stable numerical methods. The basic methodological approach in developing absolutely monotonous finite-difference schemes is their regularization a special case of which is the method of exponential fitting used in this work. The proposed finite-difference scheme is considered by an example of continuity equations. The integration by the control volume of differential expressions for particle flows yields their finite-difference approximations of convective and diffusion components simultaneously, which provides their stable calculation at big gradients of the potential. The expressions for the flows received for the continuity equations are generalized for the electron energy equation. The introduced implicit exponential finite-difference scheme guarantees to get the solution for big Peclet numbers with keeping positive values of electron temperature and concentrations of plasma components.Key words: radio-frequency discharge, method of exponential fitting. rus: На основе метода экспоненциальной подгонки рассматривается безусловно монотонная разностная схема, предложенная для интегрирования уравнений высокочастотного разряда в гидродинамическом приближении. |
| Ключевые слова: | radio-frequency discharge; method of exponential fitting; метод экспоненциальной подгонки; высокочастотный разряд; |
| Издано: | 2014 |
| Физ. характеристика: | с.65-74 |
| Цитирование: | 1. Graves D.B., Jensen K.F. A continuum model of DC and RF discharges // IEEE Transactions on Plasma Science. 1986. V. PS-14. P. 78-91. 2. Lymberopouios D.P., Economou D.J. Fluid simulation of glow discharges: effect of metasta-ble atoms in argon // J. Appl. Phys. 1993. V. 73. P. 3668-3679. 3. Гадияк Г.В., Швейгерт В.А., Ууэмаа О.У. Математическое моделирование тлеющего газового разряда // Изв. СО АН СССР. Сер. технических наук. 1988. № 21. Вып. 6. С. 41-47. 4. Дулан Э., Миллер Дж., Шилдерс У. Равномерные численные методы решения задач с пограничным слоем. М.: Мир, 1983. 5. Григорьев Ю.Н., Горобчук А.Г. Особенности интенсификации травления кремния в CF4/O2 // Микроэлектроника. 2007. Т. 36. № 4. С. 283-294. 6. Физические величины: справочник / под ред. И.С. Григорьева, Е.З. Мейлихова. М.: Энергоатомиздат, 1991. 7. Cherrington B.E. Gaseous electronics and gas lasers. Oxford: Pergamon Press, 1980. |