| Инд. авторы: | Горобчук А.Г. |
| Заглавие: | Оптимизация плазмохимического травления в CF4/O2 с учетом расширенной кинетики электронных реакций |
| Библ. ссылка: | Горобчук А.Г. Оптимизация плазмохимического травления в CF4/O2 с учетом расширенной кинетики электронных реакций // VIII Всерос. конф. молодых ученых: Тез. докл. Новосибирск: ИТ СО РАН, 2004, 2004. - С.6-7. |
| Издано: | Новосибирск: ИТ СО РАН, 2004 |
| Физ. характеристика: | с.6-7 |