| Инд. авторы: | Григорьев Ю.Н., Горобчук А.Г. |
| Заглавие: | Оптимизация процесса плазмохимического травления кремниевых пленок в смеси CF4/O2 |
| Библ. ссылка: | Григорьев Ю.Н., Горобчук А.Г. Оптимизация процесса плазмохимического травления кремниевых пленок в смеси CF4/O2 // Аналитические методы и оптимизация процессов в механике жидкости и газа: Аннотации докл. 19-й всерос. школы-семинара. Снежинск, 2002. - С.22. |
| Издано: | Снежинск: , 2002 |
| Физ. характеристика: | с.22 |