| Инд. авторы: | Горобчук А.Г. |
| Заглавие: | Влияние добавки кислорода на процесс травления кремниевого образца в плазме CF4/O2 |
| Библ. ссылка: | Горобчук А.Г. Влияние добавки кислорода на процесс травления кремниевого образца в плазме CF4/O2 // Актуальные вопросы теплофизики и физической гидрогазодинамики: Тез. докл. VII Всерос. конф. молодых ученых. Новосибирск, 2002. - С.190-191. |
| Издано: | Новосибирск: , 2002 |
| Физ. характеристика: | с.190-191 |