Инд. авторы: | Гриценко В.А., Новиков Ю.Н., Шапошников А.В., Мороков Ю.Н. |
Заглавие: | Численное моделирование собственных дефектов в SiO2 и i3N4 |
Библ. ссылка: | Гриценко В.А., Новиков Ю.Н., Шапошников А.В., Мороков Ю.Н. Численное моделирование собственных дефектов в SiO2 и i3N4 // Физика и техника полупроводников. - 2001. - Т.35. - № 9. - С.997-1005. - ISSN 0015-3222. |
Издано: | 2001 |
Физ. характеристика: | с.997-1005 |