Инд. авторы:	Григорьев Ю.Н., Горобчук А.Г.
Заглавие:	Оптимизация состава смеси для травления Si в CF4/O2
Библ. ссылка:	Григорьев Ю.Н., Горобчук А.Г. Оптимизация состава смеси для травления Si в CF4/O2 // Вычислительные технологии. Специальный выпуск. - 2001. - Т.6. - № 2. - С.217-224.
Издано:	2001
Физ. характеристика:	с.217-224