Инд. авторы:	Григорьев Ю.Н., Горобчук А.Г.
Заглавие:	Оптимизация скорости травления в плазмохимическом реакторе по составу исходной смеси CF4/O2
Библ. ссылка:	Григорьев Ю.Н., Горобчук А.Г. Оптимизация скорости травления в плазмохимическом реакторе по составу исходной смеси CF4/O2 // Математические модели и методы их исследования: Труды международной конференции. т. 1. Красноярск, 2001. - С.191-197.
Издано:	Красноярск: , 2001
Физ. характеристика:	с.191-197