| Инд. авторы: | Горобчук А.Г. |
| Заглавие: | О хемосорбции кислорода на кремнии при плазмохимическом травлении в CF4/O2 |
| Библ. ссылка: | Горобчук А.Г. О хемосорбции кислорода на кремнии при плазмохимическом травлении в CF4/O2 // Математическое моделирование: Труды конференции молодых ученых посвященной 10-летию ИВТ СО РАН, 25-26 декабря, 2000 г., Новосибирск. Новосибирск, 2001. - С.32-35. |
| Издано: | Новосибирск: , 2001 |
| Физ. характеристика: | с.32-35 |