Инд. авторы:	Григорьев Ю.Н., Горобчук А.Г.
Заглавие:	Роль добавки кислорода при травлении кремния в плазме CF-4/O-2
Библ. ссылка:	Григорьев Ю.Н., Горобчук А.Г. Роль добавки кислорода при травлении кремния в плазме CF-4/O-2 // Вычислительные технологии-2000: Тез. докл. XVI школа-семинар, 11-15 сентября, 2000, Новосибирск. Новосибирск: ИВТ СО РАН, 2000, 2000. - http://www.ict.nsc.ru/ws/ct-2000/
Издано:	Новосибирск: ИВТ СО РАН, 2000
Ссылка:	http://www.ict.nsc.ru/ws/ct-2000/