Инд. авторы:	Григорьев Ю.Н., Горобчук А.Г.
Заглавие:	Оптимизация скорости травления Si в плазме CF-4/O-2
Библ. ссылка:	Григорьев Ю.Н., Горобчук А.Г. Оптимизация скорости травления Si в плазме CF-4/O-2 // Сопряженные задачи механики и экологии: Тез. докл. международной конференции, 4-9 июля, 2000 г., Томск. Томск: ТГУ, 2000, 2000. - С.66-67.
Издано:	Томск: ТГУ, 2000
Физ. характеристика:	с.66-67