| Инд. авторы: | Горобчук А.Г. |
| Заглавие: | Математическая модель плазмо-химического реактора травления |
| Библ. ссылка: | Горобчук А.Г. Математическая модель плазмо-химического реактора травления // Актуальные вопросы теплофизики и физической гидрогазодинамики: Тез. докл. VI Международной конференции молодых ученых, 25-28 апреля, 2000 г., Новосибирск. Новосибирск: ИТ СО РАН, 2000, 2000. - С.105-106. |
| Издано: | Новосибирск: ИТ СО РАН, 2000 |
| Физ. характеристика: | с.105-106 |