| Инд. авторы: | Гадияк Г.В., Сафонов К.Н. |
| Заглавие: | Численное моделирование проникновения бора через двуокись кремния |
| Библ. ссылка: | Гадияк Г.В., Сафонов К.Н. Численное моделирование проникновения бора через двуокись кремния // Микроэлектроника. - 1999. - Т.28. - № 5. - С.52-64. - ISSN 0544-1269. |
| Издано: | 1999 |
| Физ. характеристика: | с.52-64 |