| Инд. авторы: | Гадияк Г.В., Лазарева Г.Г. |
| Заглавие: | Моделирование диффузии кислорода в кремнии. |
| Библ. ссылка: | Гадияк Г.В., Лазарева Г.Г. Моделирование диффузии кислорода в кремнии. // Микроэлектроника. - 1999. - Т.28. - № 1. - С.40-48. - ISSN 0544-1269. |
| Издано: | 1999 |
| Физ. характеристика: | с.40-48 |