| Инд. авторы: | Григорьев Ю.Н., Горобчук А.Г. |
| Заглавие: | Эффекты неизотермичности в плазмохимическом реакторе травления |
| Библ. ссылка: | Григорьев Ю.Н., Горобчук А.Г. Эффекты неизотермичности в плазмохимическом реакторе травления // Микроэлектроника. - 1998. - Т.27. - № 4. - С.294-303. - ISSN 0544-1269. |
| Издано: | 1998 |
| Физ. характеристика: | с.294-303 |