Инд. авторы:	Горобчук А.Г.
Заглавие:	Численный расчет тепломассообмена в плазмохимическом реакторе: оптимизация параметров процесса травления
Библ. ссылка:	Горобчук А.Г. Численный расчет тепломассообмена в плазмохимическом реакторе: оптимизация параметров процесса травления // Актуальные вопросы теплофизики и гидрогазодинамики: Сборник трудов V Международной конференции молодых ученых. Новосибирск: ИТ СО РАН, 1998, 1998. - С.126-127.
Издано:	Новосибирск: ИТ СО РАН, 1998
Физ. характеристика:	с.126-127