| Инд. авторы: | Гадияк Г.В., Stathis J. |
| Заглавие: | Физическая модель и результаты численного моделирования деградации Si/SiO2 структуры при отжиге в вакууме |
| Библ. ссылка: | Гадияк Г.В., Stathis J. Физическая модель и результаты численного моделирования деградации Si/SiO2 структуры при отжиге в вакууме // ФТП. - 1998. - Т.32. - № 9. - С.1079-1082. |
| Издано: | 1998 |
| Физ. характеристика: | с.1079-1082 |