Инд. авторы: Гадияк Г.В.
Заглавие: Моделирование ускоренной диффузии аллюминия в карбиде кремния при высокотемпературной ионной имплантации
Библ. ссылка: Гадияк Г.В. Моделирование ускоренной диффузии аллюминия в карбиде кремния при высокотемпературной ионной имплантации // Микроэлектроника. - 1998. - Т.27. - № 5. - С.340-344. - ISSN 0544-1269.
Издано: 1998
Физ. характеристика: с.340-344