| Инд. авторы: | Гадияк Г.В. |
| Заглавие: | Моделирование ускоренной диффузии аллюминия в карбиде кремния при высокотемпературной ионной имплантации |
| Библ. ссылка: | Гадияк Г.В. Моделирование ускоренной диффузии аллюминия в карбиде кремния при высокотемпературной ионной имплантации // Микроэлектроника. - 1998. - Т.27. - № 5. - С.340-344. - ISSN 0544-1269. |
| Издано: | 1998 |
| Физ. характеристика: | с.340-344 |