| Инд. авторы: | Grigoryev Yu.N., Gorobchuk A.G. |
| Заглавие: | Numerical Simulation of Plasma-Chemical Etching Reactors |
| Библ. ссылка: | Grigoryev Yu.N., Gorobchuk A.G. Numerical Simulation of Plasma-Chemical Etching Reactors // Proceedings of 21 International conference on microelectronics, Yugoslavia. V. 2, 1997. - P.485-488. |
| Издано: | 1997 |
| Физ. характеристика: | с.485-488 |