| Инд. авторы: | Григорьев Ю.Н., Горобчук А.Г. |
| Заглавие: | Численное моделирование плазмохимического травления в реакторе с неоднородным полем температуры |
| Библ. ссылка: | Григорьев Ю.Н., Горобчук А.Г. Численное моделирование плазмохимического травления в реакторе с неоднородным полем температуры // Математические модели и методы их исследования: Тез. докл. Международной конференции. Красноярск, 1997. - С.72-73. |
| Издано: | Красноярск: , 1997 |
| Физ. характеристика: | с.72-73 |