| Инд. авторы: | Гадияк Г.В. |
| Заглавие: | Диффузия бора и фосфора при высокотемпературной ионной имплантации |
| Библ. ссылка: | Гадияк Г.В. Диффузия бора и фосфора при высокотемпературной ионной имплантации // Физика и техника полупроводников. - 1997. - Т.31. - С.385-389. - ISSN 0015-3222. |
| Издано: | 1997 |
| Физ. характеристика: | с.385-389 |