| Инд. авторы: | Gadiyak G.V., Bibik A.V. |
| Заглавие: | High-Temperature Boron or Phosphorous Ion Doping of Silicon |
| Библ. ссылка: | Gadiyak G.V., Bibik A.V. High-Temperature Boron or Phosphorous Ion Doping of Silicon // Proceedings of the 9th International Conference on Ion Beam Modification of Materials 5-10 Febr., Canberra, Australia. Canberra: Elsiver, 1996, 1996. - P.810-814. |
| Издано: | Canberra: Elsiver, 1996 |
| Физ. характеристика: | с.810-814 |