Инд. авторы:	Гриценко В.А., Мороков Ю.Н., Новиков Ю.Н., Петренко И.П., Свиташева С.Н.
Заглавие:	Избыточный кремний на границе раздела Si$_3$N$_4$-термический окисел
Библ. ссылка:	Гриценко В.А., Мороков Ю.Н., Новиков Ю.Н., Петренко И.П., Свиташева С.Н. Избыточный кремний на границе раздела Si$_3$N$_4$-термический окисел // Полупроводники: Cб. научн. трудов. - 1996. - С.4.
Издано:	Новосибирск: ИФП СО РАН, 1996
Физ. характеристика:	с.4