| Инд. авторы: | Григорьев Ю.Н., Горобчук А.Г. |
| Заглавие: | Численная оптимизация планарных реакторов индивидуального плазмохимического травления |
| Библ. ссылка: | Григорьев Ю.Н., Горобчук А.Г. Численная оптимизация планарных реакторов индивидуального плазмохимического травления // Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования. - 1996. - № 2. - С.47-63. - ISSN 0207-3528. |
| Издано: | 1996 |
| Физ. характеристика: | с.47-63 |