| Инд. авторы: | Григорьев Ю.Н., Горобчук А.Г. |
| Заглавие: | Численная оптимизация плазмохимических реакторов травления с учетом неизотермичности |
| Библ. ссылка: | Григорьев Ю.Н., Горобчук А.Г. Численная оптимизация плазмохимических реакторов травления с учетом неизотермичности // Труды III Минского международного форума по тепломассообмену. Минск, 1996. - Т.3. - С.3-7. |
| Издано: | Минск: , 1996 |
| Физ. характеристика: | с.3-7 |