Инд. авторы:	Григорьев Ю.Н., Горобчук А.Г.
Заглавие:	Моделирование процесса травления в планарном реакторе
Библ. ссылка:	Григорьев Ю.Н., Горобчук А.Г. Моделирование процесса травления в планарном реакторе // Математические модели и численные методы механики сплошных сред: Тез. докл. международной конференции, 27 мая-2 июня, 1996 г., Новосибирск. - 1996. - Новосибирск: Изд-во СО РАН. - С.223-224. - ISBN: 5-7692-0013-8.
Издано:	Новосибирск: Изд-во СО РАН, 1996
Физ. характеристика:	с.223-224
Конференция:	Название: Международная конференция "Математические модели и численные методы механики сплошной среды" Город: Новосибирск Страна: Россия Даты проведения: 1996-05-27 - 1996-06-02 Ссылка: http://www.nsc.ru/win/conferen/janenko-75.html