Инд. авторы:	Gadiyak G.V., Korobitsina J.L.
Заглавие:	Numerical Simulation of the Thermal Oxidation of Silicon in N2O Ambient
Библ. ссылка:	Gadiyak G.V., Korobitsina J.L. Numerical Simulation of the Thermal Oxidation of Silicon in N2O Ambient // Solid-State Electronics. - 1995. - Т.38. - № 5. - С.1113-1114. - ISSN 0038-1101.
Внешние системы:	DOI: 10.1016/0038-1101(95)98685-V; WoS: A1995QV34100027;
Издано:	1995
Физ. характеристика:	с.1113-1114