| Инд. авторы: | Gadiyak G.V., Bibik A.V. |
| Заглавие: | High-Temperatura Boron or Phosphorous Ion Doping of Silicon |
| Библ. ссылка: | Gadiyak G.V., Bibik A.V. High-Temperatura Boron or Phosphorous Ion Doping of Silicon // Ninth Intern. Conf. on Ion Beam Modication of Materials, February 5-10, 1995. Canberra, 1995. - P.10.046. |
| Издано: | Canberra: , 1995 |
| Физ. характеристика: | с.10.046 |