Инд. авторы: | Григорьев Ю.Н., Шавалиев М.Ш., Шапеев В.П. |
Заглавие: | Математическое моделирование трубчатого источника для молекулярно лучевой эпитаксии |
Библ. ссылка: | Григорьев Ю.Н., Шавалиев М.Ш., Шапеев В.П. Математическое моделирование трубчатого источника для молекулярно лучевой эпитаксии // Журнал технической физики. - 1994. - Т.64. - № 8. - С.24-34. - ISSN 0044-4642. |
Издано: | 1994 |
Физ. характеристика: | с.24-34 |