| Инд. авторы: | Горобчук А.Г., Григорьев Ю.Н. |
| Заглавие: | Оптимизация параметров режима и конструкции плазмохимического реактора травления |
| Библ. ссылка: | Горобчук А.Г., Григорьев Ю.Н. Оптимизация параметров режима и конструкции плазмохимического реактора травления // Сопряженные задачи физической механики и экология: Материалы Международного совещания-семинара. Томск: ТГУ, 1994, 1994. - P.47-48. |
| Издано: | Томск: ТГУ, 1994 |
| Физ. характеристика: | с.47-48 |