| Инд. авторы: | Горобчук А.Г., Григорьев Ю.Н. |
| Заглавие: | Оптимизация однородности травления в планарном плазмохимическом реакторе |
| Библ. ссылка: | Горобчук А.Г., Григорьев Ю.Н. Оптимизация однородности травления в планарном плазмохимическом реакторе // Аналитические методы и оптимизация процессов жидкости и газа: Тезисы докладов Международной школы-семинара «САМГОП-94. Арзамас-16, 1994. - P.46. |
| Издано: | Арзамас-16: , 1994 |
| Физ. характеристика: | с.46 |