| Инд. авторы: | Гадияк Г.В., Бибик А.В. |
| Заглавие: | Высокотемпературная имплантация бора и фосфора в кремний |
| Библ. ссылка: | Гадияк Г.В., Бибик А.В. Высокотемпературная имплантация бора и фосфора в кремний // Тезисы докладов на Международную конференцию «Микроэлектроника-94». Москва, 1994. - P.327-328. |
| Издано: | Москва: , 1994 |
| Физ. характеристика: | с.327-328 |