| Инд. авторы: | Gadiyak G.V., Korobitsina J.L., Kramarenko V.I. |
| Заглавие: | Numerical Simulation of the Thermal Oxidation of Polysilicon |
| Библ. ссылка: | Gadiyak G.V., Korobitsina J.L., Kramarenko V.I. Numerical Simulation of the Thermal Oxidation of Polysilicon // NASECODE-9 Conf. Colorado, 1993. - P.51-52. |
| Издано: | Colorado: , 1993 |
| Физ. характеристика: | с.51-52 |