Инд. авторы:	Gadiyak G.V., Korobitsina J.L.
Заглавие:	Numerical Simulation of the Thermal Oxidation of Polycrystalline Silicon
Библ. ссылка:	Gadiyak G.V., Korobitsina J.L. Numerical Simulation of the Thermal Oxidation of Polycrystalline Silicon // International Journal for Computation and Mathematics in Electrical and Electronic Engineering. - 1993. - Т.12. - № 4. - С.417-422. - ISSN 0332-1649.
Издано:	1993
Физ. характеристика:	с.417-422