Инд. авторы:	Гадияк Г.В., Жиляев М.В., Швейгерт В.А., Швейгерт И.В.
Заглавие:	Моделирование плазмохимического осаждения и травления
Библ. ссылка:	Гадияк Г.В., Жиляев М.В., Швейгерт В.А., Швейгерт И.В. Моделирование плазмохимического осаждения и травления // Модели в механике. - 1993. - Т.7. - № 3. - С.51-98.
Издано:	1993
Физ. характеристика:	с.51-98