| Инд. авторы: | Gadiyak G.V., Morokov Yu.N., Muchin D.N. |
| Заглавие: | Simulation of Fluorine Interaction with Silicon |
| Библ. ссылка: | Gadiyak G.V., Morokov Yu.N., Muchin D.N. Simulation of Fluorine Interaction with Silicon // Applied Surface Science. - 1992. - Vol.60/61. - P.131-135. - ISSN 0169-4332. |
| Издано: | 1992 |
| Физ. характеристика: | с.131-135 |