| Инд. авторы: | Григорьев Ю.Н., Горобчук А.Г. |
| Заглавие: | Управление однородностью травления в планарном плазмохимическом реакторе |
| Библ. ссылка: | Григорьев Ю.Н., Горобчук А.Г. Управление однородностью травления в планарном плазмохимическом реакторе // Вычислительные технологии. - 1992. - Т.4. - № 12. - С.87-98. - ISSN 1560-7534. - EISSN 2313-691X. |
| Издано: | 1992 |
| Физ. характеристика: | с.87-98 |