| Инд. авторы: | Гадияк Г.В., Коробицына Ж.Л., Черных Г.Г. |
| Заглавие: | Численное моделирование локального термического окисления кремния |
| Библ. ссылка: | Гадияк Г.В., Коробицына Ж.Л., Черных Г.Г. Численное моделирование локального термического окисления кремния // Вычислительные технологии. - 1992. - Т.1. - № 1. - С.105-123. - ISSN 1560-7534. - EISSN 2313-691X. |
| Издано: | 1992 |
| Физ. характеристика: | с.105-123 |