| Инд. авторы: | Гадияк Г.В., Коробицына Ж.Л., Черных Г.Г. |
| Заглавие: | О численном моделировании термического окисления кремния |
| Библ. ссылка: | Гадияк Г.В., Коробицына Ж.Л., Черных Г.Г. О численном моделировании термического окисления кремния // Моделирование в механике. - 1992. - Т.6. - № 3. - С.22-36. |
| Издано: | 1992 |
| Физ. характеристика: | с.22-36 |