Инд. авторы:	Бакланов М.Р., Григорьев Ю.Н., Мелешко С.В., Плюхин В.Г.
Заглавие:	Влияние массопереноса на равномерность травления в планарном реакторе
Библ. ссылка:	Бакланов М.Р., Григорьев Ю.Н., Мелешко С.В., Плюхин В.Г. Влияние массопереноса на равномерность травления в планарном реакторе // Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования. - 1992. - № 12. - С.60-68. - ISSN 0207-3528.
Издано:	1992
Физ. характеристика:	с.60-68