| Инд. авторы: | Горобчук А.Г. |
| Заглавие: | Численное моделирования течения многокомпонентной газовой смеси в реакторе плазмохимического травления |
| Библ. ссылка: | Горобчук А.Г. Численное моделирования течения многокомпонентной газовой смеси в реакторе плазмохимического травления // Всероссийская конференция “Проблемы механики сплошных сред и физики взрыва” (Новосибирск, Россия, 17.09 - 22.09.2007): Тезисы докладов. Новосибирск, 2007. - С.70-71. |
| Издано: | Новосибирск: , 2007 |
| Физ. характеристика: | с.70-71 |
| Конференция: | Название: Всероссийская конференция “Проблемы механики сплошных сред и физики взрыва” Город: Новосибирск Страна: Россия Даты проведения: 2007-09-17 - 2007-09-22 |